
                         ИНФОРМАЦИЯ О РАЗРАБОТКЕ                         
             ПРИКЛАДНЫЕ СИСТЕМЫ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ ДИАГНОСТИКИ             

                                 на базе                                 

           ПЕРСОНАЛЬНОЙ СТАНЦИИ ОБРАБОТКИ ИЗОБРАЖЕНИЙ IMAGIX-S           


     Цифровой интерферометрический профилометр:

анализ пространственного  профиля  диэлектрических,  полупроводниковых  и 
металлических материалов диаметром до 200 мм. Пространственное разрешение 
- 512*512 точек по полю зрения. Точность определения профиля - 0,02  мкм. 
Максимальный перепад высот в поле зрения - 30 мкм.


     Цифровой микроинтерферометр-профилометр:
анализ пространственного микропрофиля и шероховатости зеркальных  поверх- 
ностей. Диаметр поля зрения - не менее 5 мм. Пространственное  разрешение 
- более 1 мкм. Точность определения профиля - 1 нм.


     Цифровой анализатор дефектов поверхности:
анализ  рассеивающей  способности  диэлектрической,  полупроводниковой  и 
металлической зеркальной поверхности. Обнаружение царапин, бугорков, впа- 
дин, пылинок и определение их  геометрических  параметров.  Диаметр  поля 
зрения не более 120 мм.


     Анализатор топологии интегральных схем и печатных плат:
прибор предназначен для обнаружения дефектов  топологического  рисунка  в 
микроэлектронике и электротехнике.


     Цифровой анализатор цитологических параметров биологических объектов: 
анализатор формы, плотности и колориметрического состава срезов и  мазков 
биологических объектов.


     В зависимости от назначения приборы комплектуются:
- системой ввода и обработки изображения IMAGIX-S;
- ПЭВМ класса IBM PC/XT/AT;
-  телекамерой  на  базе  видикона,  супер-видикона   (SIT),   ISIT   или 
  ПЗС-матрицы;
- микроскопом;
- автоматическим устройством позиционирования.


Разработчик: г.Киев, Институт полупроводников АН УССР.
СТОЛЯРЕНКО Александр Васильевич             раб.тел. 265-62-66
ПОЛИЩУК Станислав Витальевич                дом.тел. 488-27-88
ВИНЕЦКИЙ Владимир Рудольфович               дом.тел. 266-71-14

